Физико-технологический институт РАН

О компании:

Физико-технологический институт Российской академии наук (ФТИАН) является структурным подразделением Отделения нанотехнологий и информационных технологий РАН. Он был открыт на базе Отдела микроэлектроники Института общей физики АН СССР в 1988 году. Учреждение было создано для изучения фундаментальных физико-технологических проблем субмикронных структур сверхскоростных и сверхбольших интегральных схем. ФТИАН имеет 5 научных лабораторий: - физики поверхности и микроэлектронных структур; - субмикронной литографии; - физических основ квантовых вычислений; - микроструктурирования и субмикронных приборов; - математического моделирования физико-технологических процессов микроэлектроники. В настоящее время Институт специализируется на ионно-лучевых технологиях и плазмохимическом травлении. Сотрудники учреждения ведут исследования не только фундаментального, но и прикладного характера. Институт имеет филиал в Ярославле. В рамках программы «Интеграция» ФТИАН наладил сотрудничество с Московским институтом электронной техники, Московским инженерно-физическим институтом, Московским государственным университетом им. М. В. Ломоносова.