Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН открыт в 2006 году. Создавался он как научно-исследовательское учреждение, целью которого стали изучение актуальных проблем в области нанотехнологий микроэлектроники, оценка перспектив развития этого направления, подготовка аналитической, прогностической и методологической информации по данному вопросу для руководства и заинтересованных вышестоящих инстанций. В качестве направлений научной деятельности института рассматривают не только создание, развитие и совершенствование нанотехнологий, но и вопросы формирования государственной политики в этой сфере. Частные задачи сотрудники решают в конкретных научных подразделениях-отделах: физико-технологическом, зондовых исследований, аналитических исследований, структурного анализа, разработок и исследования микросистем и наносистем. Институт нанотехнологий микроэлектроники принимает участие в международных выставках, конференциях, форумах. В рамках образовательной и научной деятельности ИНМЭ сотрудничает с техническими вузами: с Московским государственным институтом электронной техники, физическим факультетом МГУ, Московским государственным институтом радиотехники, электроники и автоматики.