НИИ полупроводникового машиностроения создан в 1961 году. Его специализацией стали научно-исследовательские и конструкторские работы по созданию механизированных линий и образцов технологического, испытательного и контрольно-измерительного оборудования, необходимого для производства полупроводниковых приборов, а также интегральных схем. В 1993 году НИИ стал открытым акционерным обществом. Институт занимается разработкой и выпуском оборудования для фотолитографических процессов на полупроводниках, контрольно-измерительных систем для дискретных полупроводниковых приборов, оборудования для бесконтактной очистки поверхностей, технологических комплексов для получения особо чистой воды с использованием безреагентных методов. ОАО «НИИПМ» является основным разработчиком специального оснащения для изготовления изделий микроэлектроники в России. Одна из задач учреждения – всестороннее развитие электронной компонентной базы. На базе учреждения в Воронеже создан Инновационно-технологический центр. Силами института проводятся разработки самого новейшего оборудования, которое применяется в целом ряде технологических процессов. НИИ ставит своей целью повышение конкурентоспособности технической продукции для полупроводникового машиностроения.