НИИТМ создан в Зеленограде в 1962 году в качестве ведущего предприятия, специализирующегося на производстве технологического оборудования специального назначения, применяемого в изготовлении средств микроэлектроники. По разработкам Института выполнено несколько тысяч единиц такого оборудования; они составили основу российского производства полупроводниковых приборов, а также поставлялись в другие страны. Работы коллектива НИИ не раз отмечались дипломами, медалями и другими почетными наградами на международных выставках. Сотрудники НИИ становились лауреатами Государственной премии. Многие разработки защищены авторскими свидетельствами и отдельными патентами на изобретения. В настоящее время НИИТМ – одно из крупнейших предприятий в отрасли. Учреждение обеспечивает осуществление ряда бизнес-направлений совместно с зарубежными компаниями смежного профиля. Производимое в НИИ технологическое оборудование отвечает всем современным техническим требованиям, включая характеристики дизайна и промышленной эргономики. Используя особенности продукции Института, заказчики получают возможность осуществлять технические и технологические решения в различных областях техники и науки, включая нанесение покрытий, термообработку и отжиг, получение сверхчистых композитных материалов.